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The fabrication of the silver patterns by selective electroless plating

The fabrication of the silver patterns by selective electroless plating
Other Titles
선택적인 무전해도금을 통한 은 패턴의 제작
Issue Date
대학원 화학·나노과학과
이화여자대학교 대학원
The fabrication of metallic nanostructures such as copper and silver has become critically important in nanoelectronics fabrication. Here, we describe a simple method for electrochemically depositing nanometer-scale patterns of silver from Ag(I) salts such as AgNO₃(aq). The patterns of silver on a flexible PET film were prepared via electroless plating. The predefined polymer patterns on a PET film were used as the templates and microcontact printing was used to form a catalyst layer, along the geometry of the patterned template, for the selective electroless plating. Because the catalyst dropped protrudent area of the patterned template was transferred to the hydrophilized elastomeric stamp, the catalyst was remained in the inner channel only. The silver layer was formed from this catalyst in the inner channel during the electroless plating. This technique enables to produce metallic pattern having several layers placed over one another by combining photolithography and nanoimprint lithography. This process can be applied to interconnections in various flexible electronic devices.;구리나 은과 같은 금속의 나노구조 제작은 nanoelectronic device의 제작에 있어서 필수적이다. 특히 무전해 도금은 금속패턴을 만드는 비교적 저렴하면서도 간단한 방법이다. 우리는 AgNO₃와 같은 수용액으로부터 나노미터수준의 은 패턴을 만드는 간단한 방법을 소개하였다. 본 연구에서는 무전해 도금을 통해 유연성이 있는 PET필름에 은 패턴을 형성한다. PET필름 위에 고분자로 패턴을 형성하고 여기에 미세접촉 프린팅의 방법을 이용하여 선택적으로 촉매를 제거한다. 패터닝된 PPT 몰드의 양각부분에 있던 촉매가 친수성을 가지도록 처리된 PDMS 스탬프에 의해 제거되므로, 촉매는 몰드의 음각부분에만 남는다. 따라서 이 몰드를 사용하여 무전해도금을 하면 몰드의 음각부분을 따라서 은이 환원된다. 또한, 위의 방법에 포토리소그래피와 나노임프린트 리소그래피의 방법을 도입함으로써 두 층으로 이루어진 은 패턴을 형성할 수 있었다. 이 때, 사용하는 mask에 따라 위층과 아래층이 환원된 은으로 연결되는 부분과 그렇지 않은 부분이 생기게 된다. 두 층으로 이루어진 은 패턴을 제작함으로써, 이와 같은 방법을 이용하여 다층으로 이루어진 은 패턴 제작의 가능성을 보았고 이는 다양한 electronic devices의 interconnection으로 응용가능 할 것으로 생각된다.
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일반대학원 > 화학·나노과학과 > Theses_Master
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