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반도체 웨이퍼 제조 공정의 효율적인 흐름제어를 위한 시뮬레이션

반도체 웨이퍼 제조 공정의 효율적인 흐름제어를 위한 시뮬레이션
Other Titles
Simulation for Efficient Flow Control of Semiconductor Water Fabrication Processes
Issue Date
정보과학대학원 컴퓨터정보학전공
반도체 웨이퍼 제조 공정흐름제어시뮬레이션
이화여자대학교 정보과학대학원
가장 설비 집약적이며 복잡한 생산 시스템중의 하나인 반도체 제조 공정(Semiconductor Fabrication Process)은 제품의 흐름 시간과 대기시간, 공정중 재고를 줄이는 것이 흐름제어의 가장 중요한 목표이다 본 연구에서는 소품종 다량 생산 시스템에서 발생하는 비경제성을 줄이고 생산성을 향상시키기 위하여 A 반도체 회사 메모리 제품의 In-Line Layout을 분석하고 제안 방안인 그룹테크롤로지를 이용한 Job Shop 형태의 Stand Alone Layout을 시뮬레이션을 통하여 비교함으로서 일별 생산 계획상의 회수에 따른 각 Layout의 특성을 연구하였다. 모델 구축 및 시뮬레이션은 범용 시뮬레이션 소프트웨어 (이산형 제조 시스템용) ProSys를 사용하였다. 연구 결과로는 일별 생산 계획상의 회수가 증가함에 따라 In-Line layout이 Stand Alone Layout 보다 대체로 생산량 측면에서 우세하다가 일별 생산 계획상의 회수가 14회부터는 Stand Alone Layout이 더 우세한 것으로 나타났다.;The ultimate goal of flow control in the Semicondoctor Fabrication Process, one of the most equipment-intensive and complex manufacturing process, is to reduce lead time and work in process. In this paper, we propose Stand Alone Layout in the form of Job Shop using Group Technology to improve the productivity and eliminate the inefficiency in FMS(Flexib1e Manufacture System). The performance of Stand Alone Layout and In-Line Layout are analyzed and compared while varying number of device changes. The analysis of In-Line layout is obtained by examining its adoption in the memory products of "A"semiconductor factory. The comparison is performed through simulation using ProSys, a window 95 based discrete system simulation software, as a tool for comparing performance of two proposed layouts. The comparison demonstrates that when the number of device change is small, In-Line Layout is more efficient in terms of production quantity. However, as the number of device change is more than 14 times, Stand Alone Layout prevails over In-Line Layout.
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